高純氯氣在微電子工業中的應用
發布時間：2021-12-13來源：洛陽華普高純氣體點擊：3102
高純氯氣在微電子工業中的應用
微電子工業的半導體器件和大規模集成電路的可靠性，在很大程度上取決于半導體表面的熱氧化、等離子蝕刻、晶體生長等技術，而這些工藝過程則需使用高純氯氣，氯氣質量的好壞會直接影響電子元器件的質量。
二氧化硅中的Na*是造成硅平面元件和MOS器件性能不穩定的主要原因。若在干氧化時摻入適量的高純氯氣，就能有效地消除Na，從而大大改善MOS器件的電性能。用氯氣進行二氧化硅的熱氧化和蝕刻是美國材料檢驗學會標準中規定的方法。
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